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  • 勻膠臺GLM100 產(chǎn)品型號:GLM100
    勻膠臺
詳細內(nèi)容

1、適用晶圓尺寸:4吋及以下;

2、勻膠轉(zhuǎn)速范圍:400 轉(zhuǎn)/~ 8000轉(zhuǎn)/分;

3、勻膠時間范圍:1~ 3000秒;

4、轉(zhuǎn)速不穩(wěn)定度:≤±2%;

5、膠的不均勻性:≤±3%;

6、轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)形式:采用變頻電源控制器調(diào)節(jié);

7、機器控制模塊:數(shù)碼顯示,微處理器控制;

8、電源:AC220V/50Hz,90W;

9、機器外形尺寸:W278 mm×H358mm×D248mm。

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