1、適用晶圓尺寸：6吋及以下；

2、勻膠轉速范圍：100 轉/分 ~ 9000轉/分可調；

3、勻膠時間范圍：1秒 ~ 3000秒可調；

4、轉速不穩(wěn)定度：≤±1%；

5、膠的不均勻性：≤±2%；

6、轉速調節(jié)形式：加減速度可調，可設多種程序控制；

7、機器控制模塊：液晶顯示、燈光閃爍、聲光報警；

8、電源：AC220V/50Hz，120W；

9、機器外形尺寸：W320mm×H375mm×D323mm。