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  • 微納電路顯影機uDPM200 產(chǎn)品型號:uDPM200
    微納電路顯影機
詳細(xì)內(nèi)容

1、適用晶圓尺寸:8吋及以下;

2、轉(zhuǎn)速分辨率:±1RPM;

3、旋轉(zhuǎn)速度:20 rpm ~ 2000rpm(空載)

4、旋轉(zhuǎn)加速度:20 rpm ~ 8000rpm(空載) ;

5、顯影時間設(shè)定:0 ~ 300s;

6、時間設(shè)置精度:0.1s;

7、3路管路:1路顯影液,1路純水,1路氮氣;

8、工藝選擇:單步工藝/多步工藝可選,內(nèi)置50組可編輯程序;

9、電源:220VAC /50Hz,200W;

10、機器外形尺寸:W523mm× L450mm×H320mm。

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